奈米壓印微影(NIL)技術之製造流程
奈米級圖案形成的過程
模具壓印
紫外光/加熱固化
釋放模具
基板蝕刻
模具壓印
紫外光/加熱固化
釋放模具
基板蝕刻
模具
聚合物
基板
如何實踐NIL技術
應用領域
奈米壓印微影(Nanoimprint Lithography, NIL)是一種高精度技術,利用圖案化的模具將奈米級圖樣壓印到材料表面。它提供了一種相較於傳統曝光微影技術更具成本效益且具高解析度的替代方案,能用來製作極微小的結構。 NIL 適合用於製造奈米晶片、感測器和光學元件。其製程簡單且具高精確度,非常適合需要大規模製作精細表面圖樣的產業。
極致工藝,始於堅持
我們的團隊

擁有二十年奈米壓印微影(Nanoimprint Lithography, NIL)領域的深厚經驗,我們的團隊致力於開發符合先進製造需求的世界級製程技術。我們已成功將奈米結構製作整合至產業標準流程,應用範圍涵蓋高產能 LED 晶圓、堅硬的藍寶石基板,以及易脆的 InP 雷射晶圓。 憑藉深厚的技術專業與豐富的量產實務經驗,我們能夠針對各種材料提供高度客製化的精細結構。隨著我們持續推進 NIL 技術的極限,應用領域正逐步拓展至下一代的量子科技。
代工商務
分子尼奧製造範疇概覽
奈米製程代工服務
DFB/VCSEL 磊晶片光柵製造
繞射光學元件(DOE)和超穎透鏡
光子晶體製造
客製化複合式奈米表面紋理製造
服務技術與規格
NIL生產規模
(2"~8"晶圓尺寸)NIL生產規模 (2"~8"晶圓尺寸)

(2"~8"晶圓尺寸)NIL生產規模 (2"~8"晶圓尺寸)


- 可量產最小線寬:25nm
- 適用易碎或翹曲晶圓
- 適用晶圓厚度:75µm~2mm
電子束和光學式曝光微影電子束和光學式曝光微影



- 用於NIL模具/母版製造的高階電子束微影機台
- 用於NIL和曝光微影進行製程對準之標記製造
- 晶圓主平面晶向對準:<0.02°
材料蝕刻材料蝕刻



- 用於不同材料的專用乾式蝕刻機台
- 晶圓內乾式蝕刻深度精度:±3nm
- 具備乾式和濕式蝕刻製程
奈米結構設計與模擬奈米結構設計與模擬



- PWE和FDTD與自主開發程式碼
- 波前工程(wavefront engineering)設計
- 光能隙和繞射模式模擬







